Вакуумные камеры

Инженеры ООО "СТиКС" являются опытными высококвалифицированными специалистами в проектировании и изготовлении сверхвысоковакуумных камер и вакуумного оборудования. Одним из главных направлений нашей деятельности являются работы по созданию или модернизации вакуумных комплексов на основе термо-барокамер различного назначения. Наши специалисты готовы работать с заказчиком на любом этапе – начиная с разработки технологического процесса, заканчивая обучением и обслуживанием изготовленного и поставленного оборудования.

Вакуумная камера представляет собой жесткий корпус, из которого воздух и другие газы удаляются с помощью вакуумного насоса. В камере поддерживается низкое давление, что часто требуется исследователям для испытаний различных изделий, для проведения физических экспериментов или для проверки механических устройств, которые должны работать в космическом пространстве, или для таких процессов, как вакуумная сушка, вакуумное напыление и прочих.

ООО «СТиКС» проектирует и поставляет вакуумные камеры различных конфигураций. В таблице указаны основные типы вакуумных камер, а также примеры процессов, которые могут быть осуществлены с использованием вакуумных камер.

Тип

  • Вакуумные камеры для среднего и низкого вакуума
  • Вакуумные камеры горизонтальные и вертикальные для высоковакуумных применений
  • Сверхвысоковакуумные сферические и горизонтальные цилиндрические камеры
  • Вакуумно-опрессовочные камеры (камеры высокого давления)
  • Модульные вакуумные камеры
  • Кубические вакуумные камеры
  • Вакуумные системы

Объем

  • Малогабаритные вакуумные камеры: 1 л, 5 л, 10 л.
  • Камеры среднего объема: 50 л, 100 л, 200 л.
  • Крупные и сверхкрупные камеры: 1000 л и более.

Геометрия

  • сферическая
  • цилиндрическая
  • кубическая и прямоугольная
  • в форме колпака
  • специальная форма

Дополнительные опции

  • вакуумные окна, системы подсветки
  • вакуумные вводы движения, системы позиционирования в вакууме
  • нагреваемые и охлаждаемые подложкодержатели
  • электрические вакуумные вводы
  • полный спектр средств для измерения вакуума
  • вакуумные клапаны, натекатели, затворы, предохранительные вакуумные клапаны
  • системы для прогрева высоковакуумных установок

Примеры технологических процессов с применением вакуумных камер

  • Вакуумная обработка – дегазация, окисление, обезуглероживание
  • Плазмо-химическое осаждение
  • Вакуумно-плазменное травление
  • Вакуумная плавка металлов и сплавов
  • Сварка и пайка в вакууме
  • Спекание в вакууме
  • Вакуумная сушка
  • Течеискание
  • Дистилляция материалов в вакууме

Проектирование вакуумной камеры начинается с момента получения технического задания на проектирование, в котором содержатся условия и требования технологического процесса.

Процессы проектирования вакуумной камеры для Вашего технологического процесса мы начнем с выполнения следующих шести шагов:

Шаг 1

Выбор формы вакуумной камеры. Следует заметить, что заданным условиям могут удовлетворять несколько типов исполнений. Результатом этого этапа проектирования становится определение конструкционных элементов кожуха и присоединительных фланцев.

Шаг 2

Определяется основной материал для изготовления камеры необходимые элементы в зависимости от рабочего давления в вакуумной камере или контролируемой атмосферы: фланцы откачных систем, контрольно-измерительной аппаратуры или напускной системы, а также вид уплотнений, применяемых в этих соединениях.

Материалы, применяемые для изготовления высоковакуумных камер:

  • Сталь 304 и 304L;
  • Сталь 316 и 316L;
  • Алюминий (6061).
При изготовлении высоковакуумных камер и компонентов применяется электрохимическая полировка поверхностей.

Шаг 3

Выбираются элементы, которые предназначены для ввода в вакуумную камеру объекта технологического процесса и его последующего вывода, в результате чего выявляется наличие фланцевых соединений с дополнительными камерами и крышками.

Возможна установка вакуумных электрических вводов в камеру для подачи управляющих сигналов на электронные устройства, помещаемые в камеру.

Шаг 4

Определяются соединения с устройствами, участвующими непосредственно в технологическом процессе (нагрузочные устройства, передачи вращения, устройства для напыления и т.п.).

Шаг 5

Конструируется система охлаждения камеры (внутреннего или наружного типа).

Шаг 6

Включает анализ компоновки и расчет элементов вакуумной камеры. Результатом данного этапа может стать задание на создание конструкторской документации или корректировка технического задания.

Расчет вакуумных камер сопровождается решением следующих смежных вопросов, выполняемым ООО "СТиКС".

  1. Определение суммарного газового потока (газовой нагрузки).
  2. Выбор откачных средств (вакуумных насосов или агрегатов) и определение совместности их работы.
  3. Составление схемы вакуумной установки с перечнем основных элементов.
  4. Определение конструктивных размеров соединительных трубопроводов, арматуры и их проводимостей. Расчет эффективной быстроты действия выбранных вакуумных насосов.
  5. Расчет временных характеристик процесса откачки, включая начальный и основной (технологический) периоды откачки.

Расчет на прочность вакуумных камер производится на основе требований технологического процесса Заказчика и осуществляется с помощью систем моделирования методом конечных элементов. Это позволяет получить значение необходимой и достаточной толщины стенки камеры, а также установить места концентрации деформирующих напряжений.

ООО "СТиКС" осуществляет полный цикл разработки и поставки вакуумных камер, включая создание систем управления вакуумной установкой и производственным процессом, осуществляемым в ней.

ООО "СТиКС" специализируется на модернизации технически устаревших вакуумных камер и систем. В работе специалисты ООО "СТиКС" применяют современное качественное вакуумное оборудование, поставляемое по долгосрочным контрактам ведущими мировыми производителями вакуумной техники такими, как Edwards, VAT, VIC, HSR Balzers, KVC и другими.

Загрузка