Турбомолекулярные наcосы EXT

Турбомолекулярные и комбинированные насосы серии EXT надежно обеспечивают безмасляный высокий и сверхвысокий вакуум. Нижний керамический и верхний магнитный подшипники в качестве опор, а также специальная конфигурациея лопаток ротора позволяют максимально снизить вибрацию, а также затраты на обслуживание. В состав насоса входит встроенный контроллер, совместимый с TAG и TIC контроллерами.

Основные достоинства:

• высокое предельное давление на выходном патрубке;
• Высокие значения газовых потоков;
• Высокий предельный вакуум;
• Повышенная надежность;
• Сочетание керамических и магнитных подшипников;
• Отсутствие необходимости сервисного обслуживания подшипников;
• привод на постоянном токе;
• совместимость с контроллерами серии TAG, TIC Turbo и TIC Turbo&Instrument;
• всемирная техподдержка Edwards.

EXT75DX - гибридный турбомолекулярный насос, объединяющий в себе испытанные технологии сочетания керамического нижнего подшипника, долговечного магнитного верхнего подшипника сухого трения, дополнительной ступени откачки Холвека и удобств встроенного контроллера 24В, совместимого с контроллерами TAG и TIC. Поставляется с входными фланцами DN40NW, ISO63, DN63CF или ISO100, со скоростью откачки азота до 66 л/с. Базовая откачная система состоит из насоса EXT75DX, контроллера TAG и TIC, воздушного или водяного узла охлаждения и подходящего форвакуумного насоса.

EXT556H – также турбомолекулярный насос, использующий гибридные подшипники и технологии усиленной молекулярной откачки со всеми ступенями на одном роторе. Он должен использоваться с контроллером EXC300. EXC300 - это полнофункциональный контроллер с панелью пользователя, реле форвакуумного насоса и контролем системы обезгаживания. Контроллер может питать воздушное охлаждение, управлять вентиляционным клапаном, а также турбонасосом. Базовая откачная система состоит из насоса EXT556H, контроллера EXC300, кабеля, соединяющего насос и контроллер, воздушного или водяного узла охлаждения и подходящего форвакуумного насоса. Работая вместе с форвакуумным насосом, EXT556H способен создавать вакуум порядка 10^-8–10^-10 мбар.

Применяемая технология

Скорость откачки (объемный поток газов) определяется диаметром ротора, размером входного фланца и скоростью вращения. Она уменьшается при высоких давлениях на входе, до значений, определяемых параметрами форвакуумного насоса. По мере того, как входное давление поднимается, мощность двигателя падает, а температура насоса повышается. Максимальное непрерывное давление на входе устанавливает максимальный предел пропускной способности для стабильной работы насоса и зависит от способа охлаждения. При превышении этого давления частота вращения насоса снижается по мере того, как датчики температуры ограничивают мощность насоса. Если используется водяное охлаждение, реальная максимальная пропускная способность зависит от размера форвакуумного насоса.

Операционная мощность - номинальная мощность, рассеиваемая с помощью нормально работающего насоса на полной скорости вращения и с низкой пропускной способностью газа (входное давление ниже 10^-3 мбар). Во время пуска или при работе в режиме с высокой пропускной способностью или выше критического давления, выделяемая мощность возрастает и приближается к максимальному выходному значению для используемого контроллера EXC. Критическое максимальное давление для обычных турбомолекулярных насосов составляет приблизительно 0,1-0,2 мбар.

Степень сжатия определяется скоростью вращения, количеством ступеней откачки и молекулярной массой откачиваемого газа. Она выше для более тяжелых газов, что объясняет, почему сжатие углеводородов настолько эффективно и почему эта цифра для водорода важна при применении сверхвысокого вакуума.

Остаточное давление измеряется в соответствии со стандартами Pneurop и является наиболее низким, достигаемым при контроле системы, через 48 часов после работы. Работу системы поддерживает только двухступенчатый пластинчато-роторный насос. Фторэластомерные входные уплотнения используются в ISO-фланцевых моделях насосов, металлические уплотнения - в CF-фланцевых.

Технологии, применяемые в подшипниках и подвеске.

В конструкции насосов используются две основные технологии: магнитные подшипники и механические подшипники с керамическими шариками. Керамические подшипники, которые смазываются специальной вакуумной смазкой, заменили обычные стальные подшипники. Кремниево-нитридные керамические шарики легче, тверже и ровнее, чем стальные, что ведет к более длительному сроку службы и снижает вибрации.

Магнитные подшипники еще более повышают надежность. В турбомолекулярных насосах EXT мощностью до 540 л/с используются гибридные подшипники с постоянным магнитом верхнего подшипника и керамическим нижним подшипником с масляной или консистентной смазкой.

Линейка моделей EXT также включает EXT250M, где ротор полностью опирается на магнитные подшипники. Это дает дополнительные преимущества:

• насос не выделяет углеводородных загрязнений;
• низкие эксплуатационные расходы – отсутствие контактов подшипника исключает механический износ;
• низкий уровень вибрации - как правило, колебания ниже, чем обычно;
• пониженные требования к охлаждению – температуры окружающей среды в большинстве случаев достаточно;
• насос может устанавливаться в любом положении.

В насосах EXT мощностью до 540 л/с используются монолитные роторы, изготовленные из цельной заготовки на высокоскоростных фрезерных станках. Эта технология создает стабильно работающие, жесткие роторы и дает практически неограниченную вариативность конструкций для оптимального использования вакуума. Насосы EXT используют бесколлекторные двигатели постоянного тока и поставляются в исполнении на 24 и 80 В. Контроллеры обеспечивают резервное питание в случае сбоя электроснабжения, для того, чтобы поддерживать вентиляционные клапаны закрытыми в течение нескольких минут.