Сухие вакуумные насосы серий iH iF iL L IPX и EPX

Насосы серии iL разработаны специально для процессов, требующих высокой чистоты, обеспечивают низкие эксплуатационные затраты и исключительную надежность, не требуя периодического обслуживания между переборками.

Этот насос является оптимальным решением проблемы откачки шлюзов установок для производства плоских дисплеев, предъявляющих жесткие требования к способности насоса работатьпри больших нагрузках.

Насосы iH1800 и iH160 были введены в состав серии iH для обеспечения возможности высокоскоростной откачки, требующейся  для процессов обработки 300 мм полупроводниковых пластин, а также при производстве плоских дисплеев.