турбомолекулярный насос STPA3003C
 Новый турбомолекулярный насос STPA3003C разработан для высокопроизводительной откачки больших потоков газа и предназначен для применения в полупроводниковых технологических процессах и процессах травления следующего поколения. Передовая технология изготовления ротора, новый контроллер в исполнении «½ стойки» и двигатель постоянного тока, без аккумуляторов, существенно экономят рабочее пространство, и обеспечивают лидирующие в своем классе эксплуатационные характеристики. Насос STPA3003C получил признание ведущих производителей различного оборудования и широко используется в 300 мм установках травления.Достоинства и особенности: Передовая технология изготовления ротора − Высокая производительность − Высокие эксплуатационные характеристики − Высокая надежность − Не требует регламентного обслуживания − Пригоден для работы в жестких условиях Пятиосная магнитная система подвески − Отсутствие загрязнений − Низкий уровень вибрации Защита от коррозии − Пригоден для работы в жестких условиях − Продолжительный срок службы Компактная конструкция − Небольшие габариты − Контроллер имеет габариты «½ стойки» Передовая разработка контроллера − Автонастройка − Функции самодиагностики − Двигатель с электропитанием постоянного тока − Работа без аккумуляторов Технические данные:
|
