турбомолекулярный насос STPA2203C



вакуумный турбомолекулярный насос STPA2203CНовый турбомолекулярный насос STPA2203C предназначен для применения в полупроводниковой промышленности. Передовая технология изготовления ротора обеспечивает лидирующие в своем классе эксплуатационные характеристики и максимальную гибкость применения в различных процессах. 
Новый контроллер в исполнении «½ стойки» экономит рабочее пространство и управляет двигателем  постоянного тока без использования аккумуляторов. 
Насос STPA2203C получил признание ведущих производителей различного оборудования: установок травления, ионной имплантации и напыления, и широко используется при производстве полупроводников и магнитных медиа-носителей.







Достоинства и особенности:

Передовая технология изготовления ротора
− Высокая производительность
− Максимальная гибкость применения в различныхпроцессах

Пятиосная магнитная система подвески
− Отсутствие загрязнений
− Небольшой объем обслуживания

Защита от коррозии
− Пригоден для работы в жестких условиях
− Продолжительный срок службы

Компактная конструкция
− Небольшие габариты
− Контроллер имеет габариты «½ стойки»
− Передовая разработка контроллера
− Автонастройка
− Функции самодиагностики
− Двигатель с электропитанием

Технические характеристики:
Входной фланецISO200F/ICF305
Выходной фланецKF40
Вход для продувкиKF10
Подвод охлаждающей водыPT1/4
Быстрота откачки:
N2
H2

2200 л/c
1700 л/с
Предельное остаточное давление:10-6Па (10-8 Торр)
Наибольшее допустимое впускное давление2,7 Па (0,02 Торр)
Наибольшее допустимое выпускное давление400 Па (3 Торр)
Номинальная скорость вращения27000 об/мин
Время разгона7 мин
МонтажВ любом положении
Водяное охлаждение:
Расход
Температура
Давление

2 л/мин
5 -25°C
3 атм

Идет запрос данных