турбомолекулярный насос STPA2203C
 Новый турбомолекулярный насос STPA2203C предназначен для применения в полупроводниковой промышленности. Передовая технология изготовления ротора обеспечивает лидирующие в своем классе эксплуатационные характеристики и максимальную гибкость применения в различных процессах. Новый контроллер в исполнении «½ стойки» экономит рабочее пространство и управляет двигателем постоянного тока без использования аккумуляторов. Насос STPA2203C получил признание ведущих производителей различного оборудования: установок травления, ионной имплантации и напыления, и широко используется при производстве полупроводников и магнитных медиа-носителей.
Достоинства и особенности: Передовая технология изготовления ротора − Высокая производительность − Максимальная гибкость применения в различныхпроцессах
Пятиосная магнитная система подвески − Отсутствие загрязнений − Небольшой объем обслуживания
Защита от коррозии − Пригоден для работы в жестких условиях − Продолжительный срок службы
Компактная конструкция − Небольшие габариты − Контроллер имеет габариты «½ стойки» − Передовая разработка контроллера − Автонастройка − Функции самодиагностики − Двигатель с электропитанием
Технические характеристики:
| Входной фланец | ISO200F/ICF305 |
| Выходной фланец | KF40 |
| Вход для продувки | KF10 |
| Подвод охлаждающей воды | PT1/4 |
Быстрота откачки: N2 H2 | 2200 л/c 1700 л/с |
| Предельное остаточное давление: | 10-6Па (10-8 Торр) |
| Наибольшее допустимое впускное давление | 2,7 Па (0,02 Торр) |
| Наибольшее допустимое выпускное давление | 400 Па (3 Торр) |
| Номинальная скорость вращения | 27000 об/мин |
| Время разгона | 7 мин |
| Монтаж | В любом положении |
Водяное охлаждение: Расход Температура Давление | 2 л/мин 5 -25°C 3 атм |
|