турбомолекулярный насос STPA1603C
 Небольшой мощный турбомолекулярный насос STPA1603C разработан с использованием передовой технологии компании Edwards изготовления ротора. Это обеспечивает высокую производительность, максимальную надежность и лучшие в своем классе эксплуатационные характеристики, требуемые для последнего поколения полупроводниковых технологий. Контроллер исполнения «½ стойки» и компактная конструкция обеспечивают значительную экономию рабочего пространства, при этом передовая система уменьшения отложений обеспечивает высокую надежность и наилучшие характеристики. Выбор турбомолекулярного вакуумного насоса STPA1603C оптимален при работе как с новейшими 200 мм системами травления, так и с новым поколением 300 мм систем оксидного травления. Основные преимущества − Передовая технология изготовления ротора − Улучшенные характеристики − Высокая производительность − Высокая надежность − Не требует регламентного обслуживания − Пригоден для работы в жестких условиях Пятиосная магнитная система подвески − Отсутствие загрязнений − Низкий уровень вибрации Защита от коррозии − Пригоден для работы в жестких условиях − Продолжительный срок службы Компактная конструкция − Небольшие габариты − Контроллер имеет габариты «½ стойки» Передовая разработка контроллера − Автонастройка − Функции самодиагностики − Двигатель с электропитанием постоянного тока − Работа без аккумуляторов Технические данные
|
