 В 655 серии преобразователей Barocel используется большое число
запатентованных элементов конструкции, что улучшает надежность и
эксплуатационные качества. В чувствительном элементе применены
уникальная конструкция диафрагмы, созданная с помощью точечной
сварки, и новая геометрия чувствительной полости, которая
обеспечивает большее сопротивление загрязнению. Улучшение
эксплуатационных качеств достигается так же за счет изоляции
чувствительного элемента в запатентованном герметично запаянном
корпусе с контролем температуры, который нейтрализует влияние
атмосферного давления, влажности и изменения температуры
окружающей среды. В результате преобразователь имеет высокую
стабильность показаний.
Особенности и достоинства
- широкий диапазон измерений
- полные 4 декады измерений
- высокая точность
- 0,15% от показания
- высокое разрешение
- лучше, чем 0,01% от всей шкалы
- контроль температуры
- внутренняя температура поддерживается на уровне 45, 100,
123 °С в зависимости от выбранной модели
- улучшена стабильность ноля: лучше, чем 0,002% от всей
шкалы /°С
- достоверное абсолютное давление
- градуировка и показания не зависят от состава газовой смеси
- высокий уровень выходного сигнала
- 0…10 В dc - вся шкала
- линейная зависимость от давления
Применение
Плазменное травление
Напыление покрытий
Промышленное химическое осаждение
Ионная имплантация
Химическая модификация поверхности при пониженном давлении
Выращивание кристаллов
Сублимационная сушка
Технические характеристики
| Диапазоны давления | 0-50, 0-100 м Торр
0-1, 0-2, 0-5, 0-10, 0-100 Торр и мбар
0-1000 Торр
также возможны другие диапазоны |
|---|
| Точность | 0,15% от показаний |
|---|
| Разрешение | ± 0,01% от всей
шкалы измерения |
|---|
| Время нагрева | 2 часа |
|---|
| Температура нагревателя |
|---|
| 655 | 15…40 °С |
|---|
| 658 | 15…70 °С |
|---|
| 659 | 15…70 °С |
|---|
| Температура хранения | -45…+85 °С |
|---|
| Влияние температуры на ноль |
|---|
| >1 Торр | <0.002% полной шкалы /°С |
|---|
| ≤1 Торр | <0.005% полной шкалы /°С |
|---|
| Влияние температуры на
чувствительность | <0,02% показание/°С |
|---|
| Влияние атмосферного давления | <0,005% полная шкала/760 Торр |
|---|
| Влияние относительной
влажности
воздуха/окружающей среды | <0.005% от полной/всей шкалы в
диапазоне 0…95% относительной
влажности |
|---|
| Перегрузка по давлению без
разрушения/поломки | 1,25×полная шкала диапазона или
2,4 атм. |
|---|
| Предельная перегрузка по
давлению | 3,1 атм. |
|---|
| Уровень течи из
окружающей среды | <1 10-10 см3/с при давлении 760
Торр |
|---|
| Внутренний объем | 8.3 см3 (включая трубку диаметром
½”) |
|---|
| Материалы, контактирующие с
процессом/вакуумом | Inconel и Monel, нержавеющая сталь
316 или вакуумные фланцы |
|---|
| Требуемое питание | ±15 В dc ±5% регулировка ±1% |
|---|
| 655 | 250 мА максимум |
|---|
| 658 | 500 мА максимум |
|---|
| 659 | 700 мА максимум |
|---|
| Выходной сигнал | 0…10 В dc линейный по давлению |
|---|
| Выходное сопротивление | <0.1 Ω |
|---|
| Внешние помехи (0…2 кГц) | <0,002% от всей
шкалы(среднеквадратичное
отклонение) |
|---|
| Вес | 0,55 кг |
|---|
| Соответствие стандартам |
|---|
| Общая конструкция | EN 61010-1 |
|---|
| Электромагнитная совместимость | EN 61326 Производственное
назначение класс B |
|---|
|
