Модульная конструкция предусматривает широкие возможности для модернизации системы, позволяя инженеру-исследователю идти в ногу с новыми современными технологиями по мере их развития.

Установки для нанесения тонких пленок компании Edwards предназначены для исследовательских, конструкторских и опытных применений в любых областях науки и производства.

 ВЫБОР ОТКАЧНЫХ СРЕДСТВ

Мы предлагаем широкий диапазон чистых, быстродействующих вакуумных откачных средств.

Все версии откачных постов комплектуются двухступенчатым вращательным форвакуумным насосом с прямым приводом и производительностью 12 м³/ч и выхлопным фильтром масляного тумана. Форвакуумная ловушка с активированным оксидом алюминия предотвращает обратный поток паров масла.

Для обеспечения чистого вакуума откачиваемый объем изготавливается с применением специальных методов сварки из материалов с малым потоком газовыделения, с применением уплотнений из фторэластомера.

1. Диффузионный насос с азотной ловушкой . Наиболее экономичная установка серии Auto 306 — это модель с диффузионным насосом с быстротой откачки 600 л/с в комплекте с азотной ловушкой. Для предотвращения обратного потока паров масла, насос оснащен водяной рубашкой охлаждения корпуса и интеллектуальной системой управления высоковакуумным клапаном.

2. Турбомолекулярный насос с азотной ловушкой. Данная модель оборудована турбомолекулярным насосом с быстротой откачки 500 л/с, обладает всеми преимуществами турбомолекулярной откачки и эффективна при откачке конденсируемых паров.

3. Крионасос (без азотной ловушки). Крионасос обеспечивает очень высокую быстроту откачки и наилучшее предельное остаточное давление по сравнению с другими системами откачки установок серии Auto 306. Кроме того, этот насос обеспечивает сверхчистый вакуум и оптимальные условия для напыления.

 АВТОМАТИЧЕСКАЯ ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Вакуумный микропроцессорный контроллер установки Auto 306 обеспечивает простую процедуру вакуумирования и исключает возможные ошибки оператора. Даже неопытные операторы могут успешно эксплуатировать эту установку. Автоматический режим работы обеспечивает наиболее быструю откачку и экономит рабочее время. Полностью воспроизводимые параметры вакуумной системы обеспечивают постоянные условия для напыления. Цифровой дисплей отображает информацию о состоянии вакуума и установки в целом.

  ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ВЫСОКОГО ВАКУУМА

Установки серии Auto 306 спроектированы таким образом, что бы на протяжении всего процесса напыления обеспечить чистоту вакуума и защитить от загрязнения поверхность напыляемых изделий.

В течение всего цикла откачки «интеллектуальная» система управления высоковакуумным клапаном обеспечивает выравнивание давлений в рабочей камере и в области ниже клапана, за счет последовательного изменения проводимости пропускного канала клапана.

Как только рабочая камера откачана до уровня низкого вакуума, начинается медленное, управляемое микропроцессором, открытие высоковакуумного клапана. При превышении наибольшего впускного давления для форвакуумного насоса клапан полностью закрывается. При снижении давления до уровня ниже наибольшего впускного давления для форвакуумного насоса клапан снова открывается. Этот цикл повторяется до тех пор, пока клапан не будет открыт полностью. Особенно эффективно такое управление откачкой на установках серии Auto 306 с диффузионным насосом. Интеллектуальная система управления вакуумным клапаном предотвращает снижение быстроты откачки диффузионного насоса и, таким образом, устраняет одну из основных причин загрязнения вакуума.

Для дополнительной защиты вакуумной камеры и поверхности обрабатываемых изделий от загрязнения масляными парами в случае аварийного отключения питания установки, высоковакуумный клапан закрывается от встроенного аккумулятора напряжением 12 В.

		Как только рабочая камера откачана до уровня низкого вакуума, начинается медленное, управляемое микропроцессором, открытие высоковакуумного клапана. При превышении наибольшего впускного давления для форвакуумного насоса клапан полностью закрывается. При снижении давления до уровня ниже наибольшего впускного давления для форвакуумного насоса клапан снова открывается. Этот цикл повторяется до тех пор, пока клапан не будет открыт полностью. Особенно эффективно такое управление откачкой на установках серии Auto 306 с диффузионным насосом. Интеллектуальная система управления вакуумным клапаном предотвращает снижение быстроты откачки диффузионного насоса и, таким образом, устраняет одну из основных причин загрязнения вакуума.
Рис.2 Установка для напыления Auto 306 R & D с фронтально открывающейся камерой FL 400.

УНИВЕРСАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ для ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ

Установки серии Auto 306 могут быть оборудованы широким набором принадлежностей, как специально для систем термического, электронно-лучевого испарения или других распылительных систем, так и в сочетании друг с другом, что позволяет получать гибкую многофункциональную систему для напыления.

Рис.3 Вид мультифункциональной рабочей камеры.		Рис.4 Вид установки серии Auto 306 с рабочей камерой типа SFL 400 для магнетронного RF и DC распыления .

 ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ РЕАЛИЗУЕМЫЕ НА УСТАНОВКАХ СЕРИИ AUTO 306

		Термическое испарение Электронно-лучевое испарение Магнитронное распыление Комбинированные системы     Установки серии Auto 306 разрабатываются и изготавливаются под заказ исходя из индивидуальных требований заказчиков по типу источника напыления, размеру камеры и стандартной 19 дюймовой стойки-шкафа управления.
Рис.5 Вид установки с электронно-лучевым испарителем и ВЧ-распылительной системой вместе со шкафом управления в 19 дюймовой стойке и системой управления потоком продуктов распыления

 УСТАНОВКИ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ AUTO 306 ДЛЯ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ И РАЗРАБОТОК

  ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ

		Как правило, термическое испарение — это наиболее простой и недорогой способ напыления. Данная методика испарения с легкостью может быть реализована для большинства используемых в технологии металлов (таких как алюминий, хром, серебро, золото и многие другие). Установки термического испарения компании BOC Edwards серии Auto 306 предназначены стать в руках исследователя полноценным, базовым инструментом, который при необходимости может быть модернизирован по мере усложнения и совершенствования техники напыления.
Рис.6 Модуль термического испарения из тигля или с проволочным испарителем. На рисунке показан встроенный защитный экран предотвращающий от нежелательного подпыления стенки вакуумной камеры и примыкающие к модулю принадлежности.