Турбомолекулярный насос ЕХТ70
Турбомолекулярный насос EXT70 c входными фланцами DN63ISO-K, DN63CF, DN40NW и DN50NW.
Технические характеристики:
| Входной фланец | DN40NW, DN50NW, DN63CF или DN63ISO-K |
Степень сжатия: N2 He H2 | >1x108 6000 500 |
| Выходной фланец: | DN16NW |
| Рекомендуемый форвакуумный насос: | E2M0.7 |
| Вентиляционный порт: | отверстие 1/8" BSP |
Наибольшее рабочие давление насоса(откачка легких газов): водяное охлождение (tводы=15°C) вентилятор (tокруж. воздуха=35°C) естественное охлаждение (tокруж. воздуха=30°C) |
90 Па 9 Па 0,9 Па |
| Номинальная скорость вращения: | 90000 об/мин |
|---|
| Скорость вращения на холостом ходу: | 63000 об/мин |
| Время выхода на уровень 90% от номинальной скорости: | 90 с |
|---|
| Способ охлаждения: | Естественное, вентилятор или вода |
| Максимальная температура прогрева входного фланца: | 100°C |
Температура окружающего воздуха: при естественном охлаждении при работе с вентилятором | 0-30°C 0-35°C |
| Температура проточной воды: | 10-20°C |
| Минимальный расход воды (tводы=15°C): | 15 л/час |
| Монтаж: | в любом положении |
| Уровень шума на расстоянии 1м: | <50 дБА |
| Максимальная напряженность магнитного поля: | 5 мТ |
| Рекомендуемый контроллер: | EXC100 или EXC120 |
| Потребляемая мощность: | 10 Вт |
| Скорость откачки промежуточного входа (Hi-версия): | 6 л/с |
|