Серия 021
Затворы для полупроводниковой промышленности
Стандартный перегрузочный затвор для изоляции шлюзовых / технологических модулей
Отсутствие вибраций и виртуальных частиц износа (износостойкий)
Непревзойденный срок службы – более 2 миллионов циклов до следующего технического обслуживания 

Материал корпуса
Алюминий или нержавеющая сталь