Для предотвращения загрязнения технологических газов конденсатом
Чтобы минимизировать интервалы между чистками, приводящими к сокращению работ по техническому обслуживанию
Приведенный на этом рисунке клапан используется для систем химического осаждения CVD и плазменного травления