Ионизационный вакуумный датчик AIGX серии Active

Компактный ионизационный датчик серии ACTIVE имеет широкий диапазон измерения давления от 5×10^-2 до 5×10^-10 Торр и линейный выходной сигнал 1В/декада. Оба катода выполнены иридия и имеют иттриевое покрытие. Это позволило добиться очень низкой эмиссии заряженных частиц, что крайне важно в процессах, где фоновые помехи нежелательны. Новый AIGX датчик ВОС Edwards вобрал в себя все достоинства концепции ACTIVE, включая встроенную электронику и сменные измерительные трубки. В датчике предусмотрен режим обезгаживания, а также защита на случай включения датчика при атмосферном давлении.

Особенности и достоинства

Возможность измерений в 8 декадах: от 5×10^-2 до 5×10^-10 Торр
Две версии, для каждой возможна комплектация тремя типами вакуумных фланцев:
- D – версии имеют 9-штыревой разъем «D» типа и стандартный интерфейс
- S – версии имеют разъем FCC68 (RJ45) с расширенным интерфейсом и совместимы со всем рядом контроллеров ВОС Edwards
Уровень термоэмиссии частиц в рабочую область в три раза ниже, чем у аналогичных датчиков, выпускаемых нашими конкурентами
Автоматическая защита, блокирующая накал катода при включении датчика при атмосферном давлении или при дегазации при слишком высоком давлении
Чувствительность датчика остается постоянной во всем диапазоне измерения, поддерживая точность выходных значений при высоких давлениях
Непрерывность измерения давления во время дегазации
Инновационная конструкция устраняет влияние радиационного излучения
Двухцветный светодиод для индикации состояния датчика
Широкий диапазон входных напряжений
Легкосъемный электронный блок
Внешний нагрев датчика до 200 °С, например, при прогреве вакуумной системы (при снятом электронном блоке)
В S – версии переключение между катодами производится автоматически, что позволяет увеличить время жизни нитей
В S – версии имеются диагностические сигналы для определения неисправности: «эмиссия отключена», «нить накала разрушена» и «избыточное давление»
В S – версии имеется кнопка для настройки контрольных точек

Технические характеристики

Характеристики измерительного блока
Диапазон давления	5×10^-2…5×10^-10 Торр
Источник питания	+14.5…+30 В dc
Потребляемая мощность	Режим измерения: 7 Вт max Режим дегазации: 14 Вт max
Выходной сигнал	Линейный, 1В/декада
Быстродействие	>10^-8 Торр: ~100 мс <10^-8 Торр: ~1-2 мс
Точность*	± 15% от показания (с дополнительной градуировкой выше)
Повторяемость	±5%
Нити накала	Иридий с иттриевым покрытием
Дегазация	Электронная бомбардировка в течение 3 мин.
Ток эмиссии	I₁=0,1 мА и I₂=1 мА
S – версия	Автоматическое переключение между катодами при 10^-5 Торр для защиты высоковакуумной нити накала
D – версия	Ручное управление
Максимальное давление	10 атм.
Материалы, контактирующие с вакуумом	Вольфрам, Тантал, Платина, Молибден, Иридий (с иттриевым покрытием), нержавеющая сталь St304L, высоковакуумное стекло (керамика)
Присоединительные фланцы	NW25, DN16CF, DN40CF
Нагрев	200 °С max (со снятым электронным блоком)
Регулировка	Калибровка производится на заводе. Датчик полностью готов к использованию

* точность понижается вблизи нижней границы диапазона измерений