Компания Oxford Instruments Plasma Technology является подразделением известного производителя научного и технологического оборудования Oxford Instruments. Подразделение Plasma Technology было основано 1980 году и специализируется на разработке и выпуске полнофункциональных систем плазменной и плазмохимической обработки. Линейка оборудования включает в себя системы для реактивного ионного травления (RIE), плазменно-стимулированного осаждения (PECVD), магнетронного распыления, ионно-лучевого травления и ионно-лучевого распыления, гидридной эпитаксии (HVPE) и атомно-слоевого осаждения (ALD). Компания располагает собственной исследовательской лабораторией, в которой отрабатываются технологические процессы для поставляемых систем.
      Отличительной особенностью работы компании является полная технологическая поддержка поставляемого оборудования и возможность обработки тестовых образцов заказчика до поставки оборудования. В настоящее время в мире работает более 2500 установок производства компании Oxford Instruments Plasma Technology.